烤膠機是針對半導體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設計的一款產(chǎn)品,烤膠機可在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位,進(jìn)行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗用。與傳統的真空干燥箱相比,利用烤膠機固化膜層的優(yōu)勢有:
?。?)烘烤時(shí)間減少;
?。?)重復性高;
?。?)對薄膜的固化效果好。
烤膠機整個(gè)面板溫度均勻,對基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上,所以不會(huì )“皮膚效應”。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層,因為最靠近基片的膜層會(huì )首先固化好,然后是膜層靠外的部分。該設備由于升溫迅速,所以產(chǎn)量較高。烘烤時(shí)間用秒計算,而不是像傳統烘箱用分鐘或者小時(shí)計算。
烤膠機外觀(guān)小巧精致,采用高精度微處理器,溫度控制更加準確,升溫速率可控,可編輯多段溫度曲,線(xiàn)烘烤時(shí)間短、重復性高和薄膜固化效果好。
烤膠機的整個(gè)面板溫度均勻,對基片膜層固化效果好,具有烘烤時(shí)間短、重復性高等特點(diǎn)??蓱迷陔娮?、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位,進(jìn)行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗用??灸z機的操作步驟:
1、接通電源,打開(kāi)開(kāi)關(guān);
2、通過(guò)控溫儀的上下箭頭設置所需烘烤溫度;
3、加熱板溫度到設置溫度后,可以進(jìn)入烘烤工作;
4、將烘烤元件或要加熱的東西放在加熱板上(烘烤時(shí)間由操作者控制掌握)。
烤膠機包含真空腔體和溫控裝置兩部分,采用新穎的數字式加熱設計,可以準確的控制表面溫度;堅固耐腐蝕的鋁合金面板,優(yōu)異的導熱性可以滿(mǎn)足多種應用場(chǎng)景;數字式顯示器可迅速編碼準確控制溫度;獨立的防過(guò)熱電路設計,確保實(shí)驗安全。