簡(jiǎn)要分析勻膠機旋涂?jì)x在使用時(shí)的注意事項

　　勻膠機旋涂?jì)x操作簡(jiǎn)單，結構緊湊，占地面積小，為實(shí)驗室提供了理想的解決方案?？捎糜趯?shí)驗室項目建設，除半導體外，還可用于硅片、芯片、基板、導電玻璃和制版等表面涂層工藝，用于科研和教學(xué)。
 

　　勻膠機旋涂?jì)x使用時(shí)的注意事項：
 

　　1、使用前，主要檢查設備與真空泵、氮氣瓶接口是否泄漏；
 

　　2、實(shí)驗過(guò)程中，依次打開(kāi)設備電源開(kāi)關(guān)、氮氣/干氣瓶閥門(mén)和真空開(kāi)關(guān)。實(shí)驗結束時(shí)，先關(guān)閉真空，然后關(guān)閉氮氣/干氣瓶的閥門(mén)；
 

　　3、氮氣/干氣的壓力控制不宜過(guò)大。建議從0.35Mpa開(kāi)始緩慢增加氮氣瓶壓力，直到設備控制面板上的CDA停止閃爍；
 

　　4、嚴禁將過(guò)多、過(guò)重的物料放置在設備的限制范圍之外，否則會(huì )損壞設備的旋轉控制精度；
 

　　5、如果使用大的吸附盤(pán)投擲小的樣品片，會(huì )發(fā)生空氣泄漏，膠水會(huì )被吸入空氣提取室，導致空氣路徑堵塞；
 

　　6、如不慎將膠水吸入抽氣室，應立即清洗，否則吸附盤(pán)、光電盤(pán)和電機軸會(huì )粘在一起，導致電機旋轉，難以拆卸；
 

　　7、當氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)，電機也可以運行，產(chǎn)生飛片。因此，在啟動(dòng)電機之前，必須確認氣泵處于良好狀態(tài)，且吸入件已被吸入；
 

　　8、在實(shí)驗過(guò)程中，當設備處于閑置狀態(tài)時(shí)，為了保護泵的工作性能，請關(guān)閉真空泵。建議泵的連續運行時(shí)間不應超過(guò)1小時(shí)；
 

　　9、實(shí)驗結束后，請將設備內腔內的殘留物擦拭干凈，清空廢液接收罐，用原件覆蓋，并用塑料信封覆蓋每個(gè)裝置，避免污染。