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簡(jiǎn)要描述:AC200衍生機(顯影)全新外觀(guān)設計,大氣,適配實(shí)驗室實(shí)驗操作,*進(jìn)的設計理念,模塊化設計。
產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
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應用領(lǐng)域 | 化工,石油 |
AC200衍生機(顯影)介紹:
新外觀(guān)衍生機尺寸:680*550*450mm(三種機型尺寸一致)
包裝用木箱包裝
轉速范圍:20-10000rpm
加速度可調范圍20-50000rpm/s
單步時(shí)長(cháng):3000s
時(shí)間分辨率:0.1s
可編輯100組100步程序,更多可擴展
AC200衍生機(顯影)大體說(shuō)明可參照樣本上的寫(xiě),配件可以放一些標準載物盤(pán),真空泵的圖片
自動(dòng)滴膠:
適用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤(pán)
自動(dòng)顯影:
適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤(pán)
顯影噴嘴距離基片高度可調,可調范圍10-50mm
自動(dòng)去邊:
適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓
去邊精度:去除晶圓邊緣3±0.5mm
三個(gè)基本功能可添加背洗功能(供客戶(hù)選擇)
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